Partes y piezas de máquinas automatizadas para el transporte, la manipulación y el almacenamiento de discos (obleas) semiconductores, casetes de discos (obleas), cajas de discos (obleas) y demás material para dispositivos semiconductores; de aparatos para el crecimiento y estiramiento de los lingotes semiconductores monocristalinos; y de rotores para revestir con emulsiones fotográficas los discos (obleas) semiconductores